電子産業分野では、シリコンウェハーや電子部品の洗浄のために、純水や非常に純度の高い超純水、超純水にガスを溶解させた機能性水などが使用されます。クリタはRO膜(逆浸透膜)やイオン交換樹脂、連続再生式純水装置などを組み合わせた純水装置や、超純水装置に加え、機能性水製造装置を多数取りそろえています。また、各種工程から出る有機系、無機系の排水を最適に処理する排水装置や排水の回収装置も多数取りそろえています。
- 高純度の超純水を使用する、液晶製造プロセスの一例 -
- (注)上記フローは製造プロセスの一例です。お客様毎に水処理フローや設備は異なります。