技術開発発表論文

デハロコッコイデス属細菌を含む培養液を用いてバイオオーグメンテーションの実証試験を行った結果、TCE、cisDCE、およびVCを無害なエチレンまで早期に分解処理することを確認した。

水中微粒子がウエハ上に付着するモデルを、実験データと化学工学的な視点を交えて発表する。

Imec共同研究のひとつである希薄アンモニア水によるCo溶解防止技術について発表する。併せてそのメカニズムおよび他の材料・プロセスへの応用についても説明する。

空調冷却水システムで生じる様々な不具合の低減を目指し、システム、水処理、冷凍機銅チューブ、維持管理の四つの観点で現状の課題を抽出し対応を検討した。

最先端の半導体では超純水で洗浄するだけで溶解してしまう材料が使われ始め、超純水の役割が変わってきた。配線材料のCoに着目し、溶解させないリンス水について紹介する。

生物代謝物モデル物質として多糖類/たんぱく質/脂肪酸がRO膜に及ぼす影響、及び生物閉塞に有効な薬品を効率的に選定する方法を紹介する。

ドリームポリマー技術を海外へ推進するための海外発表：運転中でもスケールの除去・防止効果両方を行え、腐食の懸念なく伝熱面の清浄度を維持するポリマー技術。

皮膜形成アミン含有商品「ファインスチーム/KURITA PJ」を抄紙マシンに適用することで、蒸気原単位の削減と生産性の向上が得られた事例を紹介する。

水処理の考え方および最近の栗田の取り組みについて紹介

Ti陽極酸化はTiの溶解挙動とその溶解したTiイオンの酸化挙動とのバランスで起こる。まずは、Ti基材の自然酸化皮膜の溶解が必須であり、NH4Fを添加することで溶解が促進する。Ti基材に対してNH4Fが与える影響について分かった知見を発表する。

ナノ細孔を有する基材に水チャネルを担持させてRO膜を作製した。

半導体材料に使用されているCoの洗浄方法を検討した。アンモニア水に過酸化水素を添加した溶液で洗浄することにより、Coの溶解を抑制できることを見出し、メカニズムを解明し、300mmウエハで実証した。

土壌ガス吸引を実施している現場で電気発熱法を併用した。その結果、土壌ガスからのPCE回収量が増加し、また土壌中のPCE溶出量が低下したことを確認した。これは土壌温度上昇により、土壌中PCEの揮発・脱離が促進し、土壌溶出量が低下したためと考えられた。

Sphingopyxis SP.EG6株のAHLラクトナーゼ活性の定量評価を行った。ラクトナーゼ活性を有する培養液上清はスライム形成菌であるMethylobacterium属細菌の増殖に影響を与えることを見出した。

膜を用いた水リサイクルに関する一般的な解説、栗田工業の紹介、逆浸透膜の汚染物質の解析結果、および薬品技術の紹介を行う。