技術開発発表論文

超純水製造と資源回収（HF,TMAH）について、東北大学参画プロジェクトで保有した装置をベースに説明し、さらに機能水によるウェーハ洗浄効果を簡単に紹介する。

膜および膜モジュールの基礎知識から、MBR+ROシステムの設計方法、膜処理の課題である膜目詰まり(ファウリング）について、事例を紹介しながら対策を説明する。

超純水中微粒子のSi、SiGeウェハ汚染について、枚葉洗浄パラメータの吸着量依存性と、不純物を含む化学物質の影響を評価した結果を紹介する。

マレイン酸ポリマーとアクリル酸スルホン酸コポリマーの併用処理の防食効果について、錆の性状に着目し検討した結果について報告する。

実験の記録は、条件や結果の詳細を記載するのみならず、研究不正が防止されるようなシステムとすることが求められている。アメリカで発展したラボノートを参考に、実験の記録に必要な要件を述べる。

排水系の活性炭吸着処理について概説する。活性炭の一般的な評価方法や、トラブル事例について説明し、クリタの取り組んできた適用技術についても説明を行う。

翠ヶ丘浄化センター（下水処理場）の嫌気性消化槽にクリブレークD-100を連続投入した結果、メタン濃度を+5%高めることに成功した。また、消化日数が大きく変動したり、13日を切るような時にも性能低下が起こらず、安定した汚泥の消化処理ができた

クリタグループが取り組んでいる、リアルタイムに最適な水処理を実現するための計測・解析・制御・監視を組み合わせたサービスとそれを支える技術の紹介。

脱墨工程では界面活性剤によって古紙繊維からインキを取り除き、フローテーターで系外へ排出している。
しかし、古紙ピッチについては微細なためにフローテーターでは十分に除去できていないことが判明した。
ノニオンポリマーの構造を変化することによって、フローテーターで除去可能な大きさへピッチを選択的に凝集させることを見出した。