技術開発発表論文

燃料電池の水処理について、水の使用箇所、各種水供給源に応じた水処理方法、産業用発電設備向け・家庭用向けに対する取り組み、今後の課題について述べる。

電解硫酸溶液を用いてレジスト剥離する技術を開発した。ウエハを連続処理している際の溶液中のTOC濃度について実験結果からシミュレーションモデルを構築し、長期運転における残留TOCを推定した。

SPM洗浄法は使用に伴いレジスト剥離性能が低下することが知られている。
その原因が硫酸濃度の低下にあることを論理的に解明した。それに対し、電解硫酸法では硫酸濃度及び電解で生成する過硫酸濃度を一定に保ち、経時劣化がない。

銅スケールの発生事例を紹介し、銅スケールの発生原因と、銅スケールに対するスケール防止剤の効果、および銅スケール対策について述べた。

活性汚泥モデル（ASM）を産業排水に適用する際の留意点について過去報告されている公開論文をもとに解説する。

当社の飛灰処理薬剤技術について紹介する。特にリン酸を用いたアッシュナイト®についてその不溶化メカニズム、適用事例、薬剤注入管理事例について紹介するとともに、酸性ガス処理剤ハイパーサー®適用による飛灰処理含めたコストダウン手法の紹介も行う。

アルミニウムとポリアクリル酸の相互作用について粒度分布、NMRを用いて解析した結果を報告する。

冷却水系において生成するシリカ系スケールについてアルミニウムの影響に着目し、生成機構と防止剤を検討した結果を報告する。

半導体・液晶工場における水処理会社のECOに対する取組み事例として、純水回収・再利用技術について、最近の傾向を交えながら概要を説明する。

パワー半導体製造のレジスト剥離工程において、電解硫酸法を適用することでアッシングレス化を実現し、剥離工程を1/2に短縮した。また、製品に悪影響を与えないことが確認できたので報告する。

ng/Lオーダーにおけるウェーハ酸化膜強制汚染試験を実施し、ウェーハ上金属吸着量は水中金属濃度に比例する事を確かめた。
平衡吸着を考えたモデルにおいて、吸着前後のエネルギー変化を吸着力とした場合の吸着量計算値と、実験結果はよく一致した。

嫌気性バイオ法を適用した現場で、地下水中の塩化ビニルモノマー（VC)の挙動や浄化効果について考察した。

フッ素含有排水の処理に関して、当社保有の処理技術の概要、および、HDS法適用時の排水中の共存物質の影響について発表する。

水処理における原水中の濁質をPACと高分子凝集剤を使って粗大フロック化し、空隙率の大きい繊維状のろ材で高速ろ過を行う際に、ろ過の捕集効率に及ぼす因子の整理、モデル式作成を行い、ろ過器の最適条件の検討を行った。

電子ディバイス製造排水からリン酸を回収するに当たり、RO膜を適用することで濃縮と分離・精製が同時に行えることを見出し、実用化につなげた。
濃縮と分離・精製が同時に起こることは電気的中和条件下での能動輸送原理に基づいている。実装置も順調に稼働中である。

排水回収技術について、液晶工場での実績を中心に概説する。
工場大型化、海外進出に伴い、安全確実な設計施行、運転管理ノウハウの確立と、コストダウン、環境対応の要望に応える新技術提案が重要である。

ハイブリッド制御を含む冷却水処理と薬注機器について解説する。

ボイラの給水・蒸気系配管・機器に使用されるpH調整・腐食抑制剤であるアンモニアと各種のアミンについて、その機能・特性を比較し、アミンの優位な点を解説する。

超純水製造装置の概要およびユースポイントへの送水配管の種類や特徴を概説する。
また、関連する栗田工業の特徴的な技術として、分析技術、連続再生式電気脱イオン装置、機能性水製造装置、水質垂直立上げ技術を紹介する。