技術開発発表論文

2010年9月

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09 三角好輝
飯塚洋
投稿 日本イオン交換学会誌
日本イオン交換学会

燃料電池の水処理について、水の使用箇所、各種水供給源に応じた水処理方法、産業用発電設備向け・家庭用向けに対する取り組み、今後の課題について述べる。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.20 大津徹
内田稔
永井達夫
山川晴義
森田博志
内田博章(DNS)
平下友美(DNS)
講演 ULTRA CLEAN PROCESSING
imec

電解硫酸溶液を用いてレジスト剥離する技術を開発した。ウエハを連続処理している際の溶液中のTOC濃度について実験結果からシミュレーションモデルを構築し、長期運転における残留TOCを推定した。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.20 永井達夫
山川晴義
内田稔
大津徹
池宮範人
森田博志
講演 ULTRA CLEAN PROCESSING
imec

SPM洗浄法は使用に伴いレジスト剥離性能が低下することが知られている。
その原因が硫酸濃度の低下にあることを論理的に解明した。それに対し、電解硫酸法では硫酸濃度及び電解で生成する過硫酸濃度を一定に保ち、経時劣化がない。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.17 遠藤優 講演 日本材料学会腐食防食部門委員会第276回例会
日本材料学会

銅スケールの発生事例を紹介し、銅スケールの発生原因と、銅スケールに対するスケール防止剤の効果、および銅スケール対策について述べた。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.17 大月孝之 講演 IWA World Water Congress
IWA

活性汚泥モデル(ASM)を産業排水に適用する際の留意点について過去報告されている公開論文をもとに解説する。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.16 水成隆之 講演 第二回中日廃棄物対策会議
九州大学、西南交通大学

当社の飛灰処理薬剤技術について紹介する。特にリン酸を用いたアッシュナイト®についてその不溶化メカニズム、適用事例、薬剤注入管理事例について紹介するとともに、酸性ガス処理剤ハイパーサー®適用による飛灰処理含めたコストダウン手法の紹介も行う。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.15~17 西田育子
江藤真由美(九大院理)
正木佑香(九大院理)
岡上吉広(九大院理)
横山拓史(九大院理)
講演 日本分析化学会第59年会
日本分析化学会

アルミニウムとポリアクリル酸の相互作用について粒度分布、NMRを用いて解析した結果を報告する。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09 西田育子 投稿 博士論文
九州大学大学院理学府

冷却水系において生成するシリカ系スケールについてアルミニウムの影響に着目し、生成機構と防止剤を検討した結果を報告する。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.15 塚本和巳 講演 界面ナノ電子化学研究会 第8回NICE講演
応用物理学会

半導体・液晶工場における水処理会社のECOに対する取組み事例として、純水回収・再利用技術について、最近の傾向を交えながら概要を説明する。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.14 塚本和巳
大津徹
山川晴義
内田稔
永井達夫
戸塚輝成(ルネサス)
瀬下仁(ルネサス)
講演 秋季第71回応用物理学会学術講演会
応用物理学会

パワー半導体製造のレジスト剥離工程において、電解硫酸法を適用することでアッシングレス化を実現し、剥離工程を1/2に短縮した。また、製品に悪影響を与えないことが確認できたので報告する。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.14 中馬高明
川勝孝博
高羽洋充(東北大)
坪井秀行(東北大)
宮本明(東北大)
講演 秋季第71回応用物理学会学術講演会
応用物理学会

ng/Lオーダーにおけるウェーハ酸化膜強制汚染試験を実施し、ウェーハ上金属吸着量は水中金属濃度に比例する事を確かめた。
平衡吸着を考えたモデルにおいて、吸着前後のエネルギー変化を吸着力とした場合の吸着量計算値と、実験結果はよく一致した。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.09 塩谷剛
上野俊洋
石田浩昭
橋本正憲
講演 第13回日本水環境学会シンポジウム
日本水環境学会

嫌気性バイオ法を適用した現場で、地下水中の塩化ビニルモノマー(VC)の挙動や浄化効果について考察した。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.08~09 伊澤周平 講演 第13回日本水環境学会シンポジウム
日本水環境学会

フッ素含有排水の処理に関して、当社保有の処理技術の概要、および、HDS法適用時の排水中の共存物質の影響について発表する。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.08 多田景二郎
大澤公伸
椿淳一郎(名古屋大学)
講演 化学工学会 第42回秋季大会
化学工学会

水処理における原水中の濁質をPACと高分子凝集剤を使って粗大フロック化し、空隙率の大きい繊維状のろ材で高速ろ過を行う際に、ろ過の捕集効率に及ぼす因子の整理、モデル式作成を行い、ろ過器の最適条件の検討を行った。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09.06 川勝孝博
三輪昌之
織田信博
講演 化学工学会 第42回秋季大会
化学工学会

電子ディバイス製造排水からリン酸を回収するに当たり、RO膜を適用することで濃縮と分離・精製が同時に行えることを見出し、実用化につなげた。
濃縮と分離・精製が同時に起こることは電気的中和条件下での能動輸送原理に基づいている。実装置も順調に稼働中である。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.09 西村総介 投稿 化学装置
工業調査会

排水回収技術について、液晶工場での実績を中心に概説する。
工場大型化、海外進出に伴い、安全確実な設計施行、運転管理ノウハウの確立と、コストダウン、環境対応の要望に応える新技術提案が重要である。

2010年8月

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.08.25 川尻大 講演 最新冷却水処理と薬注装置
JS CREATES PTE Ltd.

ハイブリッド制御を含む冷却水処理と薬注機器について解説する。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.08 佐藤隆敏 投稿 ボイラ研究
日本ボイラ協会

ボイラの給水・蒸気系配管・機器に使用されるpH調整・腐食抑制剤であるアンモニアと各種のアミンについて、その機能・特性を比較し、アミンの優位な点を解説する。

日付 投稿・講演者 種別 発表先(主催・発行)
2010.08 北見勝信
宮崎洋一
投稿 防錆管理
日本防錆技術協会

超純水製造装置の概要およびユースポイントへの送水配管の種類や特徴を概説する。
また、関連する栗田工業の特徴的な技術として、分析技術、連続再生式電気脱イオン装置、機能性水製造装置、水質垂直立上げ技術を紹介する。