技術開発発表論文

LSI用シリコンウェハの洗浄工程において、機能水を活用することで実現できる環境負荷低減効果を説明する。『機能水』については主催者要望を受けて使用。

環境保全とコスト削減の両立に役立つ洗浄用機能水について、技術の要点、使いこなすポイントなどを紹介する。

水系の分子シミュレーション技術を開発し、芳香族ポリアミド膜への吸着機構や透水性を解明した。

Anammox®プロセスの原理、概要を紹介し、半導体工場排水に適用した場合の実規模設備の性能についてまとめた。

国土交通省の「下水汚泥資源化・先端技術誘導プロジェクト（LOTUS Project）」にて実施した「消化促進による汚泥減量と消化ガス発電」技術の実証試験結果と技術評価結果の報告。

Anammox®プロセスの原理、概要を紹介し、半導体工場排水に適用した場合の性能についてまとめた。

標準活性汚泥法・二段活性汚泥法・膜式活性汚泥法などの活性汚泥処理に関して装置設計の基礎事項とその応用に関して、解説する。

上水、下水、産業用排水処理技術一般

嫌気性バイオ法、特にバイオオーグメンテーションによって塩素化エチレン汚染土壌地下水を短期間で浄化が可能。

銅チューブの耐食性を短期間に評価できる方法について検討した。また、この方法を活用することにより、薬剤を用いた銅チューブの前処理が耐食性向上（腐食防止）に効果であることが確認できた。

電解硫酸溶液によるレジスト剥離において、処理液中の蓄積・濃縮が懸念されるTOC成分の濃度を実験とシミュレーションで推定した。バッチ処理10～30回の範囲でほとんど変わらない（蓄積しない）ことを認めた。

当社で開発している電解硫酸によるレジスト剥離処理技術に関して、高濃度イオン注入後レジストに対する剥離効果を、枚葉処理方式を模擬した装置によって検討したので、その結果を報告する。

電解硫酸溶液でチタンを効率よく溶解できることを認めた。SPMと同様にTiシリサイド剥離向けにも適用できる。

塩素化エチレン汚染地下水・土壌を対象としたバイオオーグメンテーション技術の動向、当社での技術開発状況について解説する。

空気調和・衛生工学会の「施工保全情報と空調配管システムの信頼性向上検討小委員会」で取り組んでいる研究成果の一部として、フラッシングに関する文献調査結果およびヒアリング結果を報告する。

クロマトカラム構造をCFD解析技術を用いて最適化することにより小口径から大口径カラムまで優れた性能のカラムが開発できた。このカラム技術の進歩を紹介する。

低圧ボイラの給水系ではエコノマイザの腐食が一番の問題で、薬品による効果は期待しにくい。 脱気装置で給水の脱酸素が有効である。復水系では、炭素鋼の他鋼材の腐食が問題となる。
復水系も脱酸素が防食の為重要で、pHの適正化も同時に実施することが必要である。