技術開発発表論文

オゾン処理嫌気性消化プロセスの効率化を目的として、高温消化、中温消化の特徴に着目して、遅分解性のオゾン処理汚泥を高温消化で高速に加水分解するとともに、残存する溶解性有機物を中温消化で効率的にバイオガスに転換するハイブリッドフローを開発した。

回分式の呼吸速度計を用いて余剰汚泥の成分分析をおこなった。汚泥の成分は生物分解可能な 有機物(2種)と非生物分解性の有機物(1種)に分類され、これらの存在割合は、それぞれ好気反応の 活性汚泥モデルで得たものと1:1で相関していた。

塩素化エチレン汚染地下水・土壌を対象としたバイオオーグメンテーション技術の実用化を目的とした研究開発の成果について説明する。

NEDOブースにて、塩素化エチレン汚染地下水・土壌を対象としたバイオオーグメンテーション技術の実用化を目的とした研究開発の成果について紹介する。

塩素化エチレン汚染地下水・土壌を対象としたバイオオーグメンテーション技術の実用化を目的とした研究開発の成果について説明する。

半導体工場廃水を対象として、Anammox®プロセスを適用した国内初の実装置の性能についてまとめた。

呼吸速度分析によって、嫌気性消化モデル(ADM1)における加水分解段階の固形物状態変数は三種類があり、これらは汚泥活性モデル(ASM)の状態変数であるXH、XS、XIとほぼ1:1で対応することが判った。この結果は、活性汚泥の加水分解反応を両モデルのインターフェースにして、ASMの出力をADM1の入力に直接利用可能なことを意味する。

汚泥の嫌気性消化における無機物の溶解析出挙動について、リン化合物の組成に着目し、既存の知見を応用してモデル化を行った。

半導体分野における最先端超純水水質について述べ、最近のウェット洗浄の動向、機能水洗浄の適用事例について紹介。備考)「機能水」は主催者側で統一。

導電性ダイヤモンド電極を陽極として、水溶液中の難生物分解性有機物を分解した際に電極の損耗が認められた。この電極の損耗は、陽極表面での有機物の直接酸化に起因するものと推測される。

電解硫酸での洗浄に関して、大日本スクリーン製造(株)と実施した300mmウェハ(14乗)のアッシングレスレジスト剥離の結果と、栗田で行った15・16乗のビーカー試験結果について報告する。

当社で開発している硫酸電解液を半導体製造工程でのレジスト剥離処理に適用する技術に関し、硫酸電解による過硫酸生成とその自己分解挙動について検討した結果を報告する。

電解硫酸での洗浄に関して、大日本スクリーン製造(株)と実施した300mmウエハ(14乗)のアッシングレスレジスト剥離の結果と、栗田で行った15・16乗のビーカー試験結果について報告する。

当社で開発している硫酸電解液を半導体製造工程でのレジスト剥離処理に適用する技術に関し、硫酸電解による過硫酸生成とその自己分解挙動について検討した結果を報告する。

超純水中には過酸化水素が含まれており、システムおよび水質に様々な影響を与えている。
白金ナノ粒子を担持したイオン交換樹脂を用いて、過酸化水素を分析下限値以下まで除去可能である。
白金ナノ粒子は不純物を含まないナノコロイドを用いて担持するため、高活性で清浄性も優れている。

超純水中には過酸化水素が含まれており、システムおよび水質に様々な影響を与えている。
白金ナノ粒子を担持したイオン交換樹脂を用いて、過酸化水素を分析下限値以下まで除去可能である。
白金ナノ粒子は不純物を含まない。

SPM洗浄液を調製した直後のレジスト剥離能力は非常に強いが、H2SO4濃度の低下に伴いレジスト剥離能力は低下することがわかった。これは分子状H2SO4の存在比が小さくなることに起因すると考えられる。

導電性ダイヤモンド電極を陽極として、水溶液中の難分解性有機物を分解した際に電極の損耗が認められた。この電極の損耗は、陽極表面での有機物の直接酸化に起因するものと推測される。

ケイ酸とアルミニウムが共存する水系で生成するシリカ系スケールの生成機構をアルミニウムの 挙動より推定した。

ケイ酸とアルミニウムが共存する水系で生成するシリカ系沈殿物の生成機構解明を目的とし、純水系においてケイ酸、アルミニウム濃度を変化させた場合の挙動を検討した。

乾式メタン発酵開発の流れ、実験方法、主な固形バイオマスのガス発生特性およびコンバインドシステムの概要を紹介した。

栗田が販売しているオゾン水製造装置及びオゾン水を用いた洗浄技術の解説。

塩素化エチレン汚染地下水・土壌を対象としたバイオレメディエーション技術

栗田が販売している機能性水製造装置及び機能性水を用いた洗浄技術の解説。

冷却水の水処理について解説を行う。

アニオン交換処理の腐食抑制作用が溶存酸素の不働態化によるという見地から、 これまで報告した結果と静置条件での結果を比較し、解析した。その結果、温度の低い氷蓄熱システムでは、静置条件でもアニオン交換処理が有効であるとの結論を得た。

膜を用いた用水処理および生物学的排水処理技術の動向を概説した。

半導体製造における超純水について、その製造方法および清浄管理について一般的な技術概要を説明する。

ウェット洗浄プロセスの基本原理から機能水開発の背景および水素水、オゾン水の製造方法と洗浄効果を概説し、適用事例とその将来性について述べた。

超純水製造システムのうち1次純水システムへ前段イオン交換方式を用いた場合と前段RO膜方式を用いた場合の特徴について比較、紹介した。

地下水汚染とその対策技術について当社の技術を中心に一般的な紹介を行う。