機能性洗浄水製造装置 KHOW®SYSTEM

超純水に特定のガスを溶かし付加価値を持たせた機能性洗浄水。電子産業分野のウェットプロセスにおいて、洗浄コスト削減と環境負荷軽減を同時に実現できます。

>> 電子産業向け機能性洗浄水とは

機能性洗浄水の種類と用途

• 水素水
  超音波と組合せると微粒子除去に最適です。（SC-1洗浄、洗剤などの薬液洗浄、純水洗浄の代替など）

• オゾン水
  有機物除去、貴金属除去に使用します。ガラス基板の濡れ性改善、ウェハ表面の酸化にも効果的です。（SPM洗浄、SC-2洗浄の代替など）

• 炭酸水
  基板帯電防止に使用します。（超純水リンスの代替、高圧ジェット洗浄）

機能性洗浄水適用によるメリット

• 薬品使用量の削減

• リンス用超純水使用量の削減

• 排水負荷の軽減（量・質の両面で）

• 排水リサイクルの促進

>> 従来型との洗浄工程の比較

装置特徴

• 水素水
  余剰ガスを出さず高濃度水素水を安定供給します。使用した水素ガスはすべて水に溶かす安全設計です。

• オゾン水
  独自の溶解方式による工場中への長距離送水システム（セントラルシステム）をご提供できます。
  濃度応答（立上り、立下り）の速いユニット装置もあります。

• 炭酸水
  リンス用超純水の純度を損なうことなく、導電性を高め静電気の発生を抑える用途に使います。