CMPスラリー回収装置
膜処理によって、濃縮とSS除去を同時に行うことで、CMPスラリーの再利用を可能にします。
特長
CMPスラリーを再利用することにより、製造コストを低減できます。
SS負荷の低減により、廃棄物を削減します。