BG排水回収装置
BG排水を膜処理によりろ過水とシリコン研削液を含む濃縮液に分離し、ろ過水を純水システムの原水として再利用します。
補給水量削減
純水原水として再利用、濃縮水処理コスト低減
メンテナンスフリー
自動逆洗式