超純水に特定のガスを溶かし付加価値を持たせた機能性洗浄水。電子産業分野のウェットプロセスにおいて、洗浄コスト削減と環境負荷軽減を同時に実現できます。
水素水
超音波と組合せると微粒子除去に最適です。(SC-1洗浄、洗剤などの薬液洗浄、純水洗浄の代替など)
オゾン水
有機物除去、貴金属除去に使用します。ガラス基板の濡れ性改善、ウェハ表面の酸化にも効果的です。(SPM洗浄、SC-2洗浄の代替など)
炭酸水
基板帯電防止に使用します。(超純水リンスの代替、高圧ジェット洗浄)
薬品使用量の削減
リンス用超純水使用量の削減
排水負荷の軽減(量・質の両面で)
排水リサイクルの促進
水素水
余剰ガスを出さず高濃度水素水を安定供給します。使用した水素ガスはすべて水に溶かす安全設計です。
オゾン水
独自の溶解方式による工場中への長距離送水システム(セントラルシステム)をご提供できます。
濃度応答(立上り、立下り)の速いユニット装置もあります。
炭酸水
リンス用超純水の純度を損なうことなく、導電性を高め静電気の発生を抑える用途に使います。
※セントラルシステム(大型装置、工場一括供給)についてはオーダーメイドになります。別途お問い合わせください。