CMPリンス排水回収装置

膜処理によって、SSを分離・除去し、排水の再利用を可能にする装置です。

特長

• 膜処理によってSSを完全に分離・除去できるため、超純水系への回収利用を実現します。

• 回収率の向上が図れるため、排水量を低減できます。